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场发射扫描电子显微镜

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型号:GeminiSEM 500

品牌:蔡司

生产厂家:德国卡尔蔡司公司

服务商:

产品介绍:扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分 析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶 粒取向测量。

    技术参数:

    • 分辨率参数:0.6nm at 15 kV; 1.1 nm at 1 kV(二次电子)
    • 加速电压:0.02 - 30 kV,以10V为步进连续可调
    • 电子束流:5 pA -20 nA
    • 工作距离范围:0.1 - 50mm
    • 放大倍数可调范围:20-2,000,000X


    性能描述:

      GeminiSEM具有完整高效的检测系统、极高的分辨率以及简便的操作方式。Gemini物镜设计将静电场与磁场结合,可在最大限度地提升光学性能的同时将场发射对样品的损伤降至最低。此设计确保了极佳的成像质量,即使是较具挑战性的磁性材料也同样可以达到良好的成像效果。通过二次电子和背散射电子的检测也使得高效率的信号探测成为可能。探测器安装在光轴上,可以减少调整时间,并可最大限度地降低成像时间。Gemini电子束加速器技术确保了小的探针尺寸和高的信噪比,以达到超低的加速电压。

    技术优势:

    1. 随着加速电压和工作距离变化,放大倍数可自动校准
    2. 七孔可动光阑,束流调节改变光阑位置时,系统具备预设光阑对中数据库系统,用户无需调节光阑机械对中
    3. 具备粗调和细调两种聚焦模式
    4. 八级可调消象散器 具备用户自定义位置选区扫描方式和定点扫描方式
    5. 具备扫描旋转、动态聚焦和倾斜补偿功能
    6. 配置全无油真空系统,包含前级无油机械干泵、分子泵和离子泵三级真空系统
    7. 自动悬摆式避震系统
    8. 配置具备接触报警功能的束流检测器


    工作原理:

      采用肖特基热场发射电子枪,具有全自动控制的无油旋转泵 + 无油分子泵 + 离子泵的抽真空系统,具备 GEMINI 镜筒搭载Zeiss 最新技术Nano-twin 物镜系统的电子光学系统、超大样品室和五轴马达驱动优中心样品台, 配有E-T SE、In-lens SE、EsB、BSD1 等探测器,适用于各种样品的微观形貌观察和分析。具备扫描旋转、动态聚焦和倾斜补偿功能,由灵活、易用的图形用户界面的 64 位计算机系统控制,可实现数字图像存储与处理功能。 配置 Aztec X-Max 50 能谱系统,实现样品微观区域内元素成分的定性、定量分析, 同时配置HKL Nordlys Max3 EBSD 探测器,获取微区晶体取向信息,进行织构和取 向差分析、晶粒尺寸及形状分布分析、晶界、亚晶及孪晶界性质分析、应变和再 结晶的分析和相签定及相比计算等。

    应用案例

      扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分 析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶 粒取向测量。




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